（1）不確定度。由于測量誤差的存在而使測量結果不能確定的程度，即表征測量結果分散性的極限。一般以測量“標準偏差”σ 表征。其置信區間（測量誤差極限）取±2σ 或±3σ，其概率分別為95.45%和99.73%。
（2）最大實體狀態（簡稱MMC）。孔或軸具有允許的材料量最多時的狀態。
（3）最小實體狀態（簡稱LMC）。孔或軸具有允許的材料量最少時的狀態。
（3）修正值。為了消除或減少系統誤差，用代數法加到未修正測量結果上的數值。其大小與示值誤差的絕對值相等，符號相反。
（4）分辨率。指測量器具所能顯示的最末一位數所代表的量值。
（5）靈敏度。指測量器具對測量變化的響應變化能力。
（6）示值范圍。指測量器具所能顯示（或指示）的被測量最小值到最大值的范圍。
（7）測量范圍。指測量器具所能測出的最小值到最大值的范圍。有些計量器具的測量范圍和示值范圍是相同的。
（8）被測量。指測量對象，包括被測零件的長度、角度、幾何形狀、相互位置以及表面粗糙度等幾何量。
（9）測量。一般指確定被測對象的量值而進行的實驗過程。即將一個被測量與一個作為測量單位的標準量進行比較，確定測量對象是標準單位量的若干倍或幾分之幾。
（10）測量重復性。指在相同的測量條件下，對同一被測“量”進行多次測量時，各測量結果之間的一致性。通常以測量重復性的極限值（正負偏差）來表示。
（11）檢驗與測量的區別。“檢驗”比“測量”的含義更廣泛一些。對于零件幾何量的檢驗，通常只判斷被測零件是否在合格范圍內確定其是否合格，而不一定要確定其具體的測量值。對于金屬內部質量的檢驗、表面裂紋的檢驗等，則不能用“測量”這一概念。